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掺入SiO2纳米颗粒对厚膜ZnO气敏传感器气敏性能的影响
ZnO 厚膜 气敏传感器 SiO2
2014/4/29
利用丝网印刷技术，制备出掺入SiO2和未掺入SiO2的ZnO厚膜气敏传感器，测试对甲醇和乙醇的气敏性能，并用场发射扫描电子显微镜（FESEM）来分析表征气敏膜的微观形貌。结果表明SiO2的掺入有效地抑制了ZnO晶粒的长大。在工作温度为400℃时， SiO2的掺入显著提高了ZnO厚膜气敏传感器对测试气体的敏感度，而在工作温度为200-350℃时，SiO2的掺入明显抑制了ZnO厚膜气敏传感器对测试气体...