搜索结果: 1-1 共查到“机械工程 SiO2”相关记录1条 . 查询时间(0.575 秒)
利用SiO2薄膜，台湾淡江大学推出小型压力传感器
台湾淡江大学 传感器 芯片
2006/2/10
中国粉体工业信息网2006年2月9日讯 台湾淡江大学机械与电机工程系日前开发成功出尺寸为50μm×50μm的小型压力传感器芯片。通过对压力传感器部分的薄膜形成手法进行改进，实现了小型化。同时还使用明胶对传感器部分进行了封装。这种压力传感器可用于生物相关领域。