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基于MEMS技术的低g值微惯性开关的设计与制作
平面矩形螺旋梁 微惯性开关 低g值开关 微机电系统（MEMS）
2014/4/29
惯性开关是一种感受惯性加速度，执行开关机械动作的精密惯性装置。选用典型的“弹簧-质量-阻尼”结构，研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1g~30g)微惯性开关。惯性敏感单元由一个方形质量块和支撑它的两根螺旋梁组成，采用ANSYS有限元软件对其进行了仿真分析。采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装技术，包括KOH腐蚀、ICP刻蚀和喷涂工艺等关键工艺技术，完成了微惯性开关的制备，划片后芯片尺寸为7mm...