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在现代控制系统中，传感器处于连接被测对象和测试系统的接口位置，成为系统信息输入的主要“窗口”，为系统提供控制、处理、决策、执行的原始信息。可以说，传感器直接影响和决定系统的性能。随着电子、材料、物理、化学等多领域技术的发展，特别是MEMS工艺技术的成熟和应用，满足市场需求的多功能、微型化、数字化、系统化、网络化、智能化的传感器不断涌现，成为传感器产业发展新热点。这同时也为集成电路从通用型向专业化发...